為(wei)了(le)滿足(zu)電子行(xing)業用(yong)(yong)水(shui)需求,根據光電材料,液晶顯示屏生產,加工(gong),清洗等所(suo)需使用(yong)(yong)超純水(shui)標準,而設計的一套超純水(shui)設備。
第一,EDI超純水(shui)設備出水(shui)符合標準
超純水(shui)(shui)(shui)(shui)(shui)設備出水(shui)(shui)(shui)(shui)(shui)水(shui)(shui)(shui)(shui)(shui)質完(wan)全符(fu)合(he)美(mei)國(guo)ASTM純水(shui)(shui)(shui)(shui)(shui)水(shui)(shui)(shui)(shui)(shui)質標(biao)準(zhun)、我國(guo)電(dian)(dian)子工(gong)(gong)業部電(dian)(dian)子級水(shui)(shui)(shui)(shui)(shui)質技術標(biao)準(zhun)(18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm五級標(biao)準(zhun))、我國(guo)電(dian)(dian)子工(gong)(gong)業部高純水(shui)(shui)(shui)(shui)(shui)水(shui)(shui)(shui)(shui)(shui)質試行標(biao)準(zhun)、美(mei)國(guo)半導(dao)體工(gong)(gong)業用純水(shui)(shui)(shui)(shui)(shui)指(zhi)標(biao)、日本集成電(dian)(dian)路(lu)水(shui)(shui)(shui)(shui)(shui)質標(biao)準(zhun)、國(guo)內外大規模集成電(dian)(dian)路(lu)水(shui)(shui)(shui)(shui)(shui)質標(biao)準(zhun)。
第二,EDI超純水系統(tong)工藝流(liu)程
預(yu)處理→反滲透(tou)→中間水箱→水泵→EDI裝置→純(chun)化水箱→純(chun)水泵→紫外線(xian)殺菌器→拋光混床→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象(≥18MΩ.CM)
第三,EDI應用領域
電解(jie)電容器生產鋁(lv)箔及工作件的清洗
電子管生產(chan)、電子管陰極涂敷碳酸鹽配液
顯像(xiang)管和(he)陰極射線管生產、配料用純水
黑白顯(xian)像管熒光屏生產(chan)、玻殼清洗(xi)、沉淀、濕潤、洗(xi)膜、管頸(jing)清洗(xi)用純水
液晶顯(xian)示器的生產、屏面需(xu)用純水清洗和用純水配液
晶體管(guan)生(sheng)產中主要用于(yu)(yu)清洗硅片(pian),另有少(shao)量用于(yu)(yu)藥液配制(zhi)
集成(cheng)電(dian)路(lu)生產中(zhong)高(gao)純水(shui)清洗硅(gui)片
半導體材料、器件(jian)、印(yin)刷電路板(ban)和集成(cheng)電路
LCD液晶顯示屏、PDP等離子顯示屏
高品質顯像(xiang)管、螢(ying)光粉生產
半導(dao)體(ti)材(cai)(cai)料、晶(jing)元材(cai)(cai)料生產、加工、清洗(xi)
超純材料和(he)超純化學試劑、超純化工材料
實驗室和中試車間
汽車、家電(dian)表面(mian)拋光(guang)處(chu)理
光電(dian)產(chan)品、其他(ta)高(gao)科技精微產(chan)品